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MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命
產(chǎn)品簡介

弗萊貝格的MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命)系列主要用于測量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等,其非接觸式檢測和無損成像(μPCD /MDP(QSS))的設(shè)計(jì)*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內(nèi)監(jiān)控和材料優(yōu)化等領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。可以說,MDPpro是晶錠生產(chǎn)商以及晶體爐技術(shù)生產(chǎn)商d的標(biāo)準(zhǔn)儀器。

產(chǎn)品型號:德國Freiberg--MDPpro
更新時(shí)間:2024-09-12
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:2162
詳細(xì)介紹在線留言

?公司簡介

 --Freiberg Instruments成立于2005年,源自德國弗萊貝格工業(yè)大學(xué)。初致力于開發(fā)一系列快速、無損的電氣特性測試工具,用于測量少數(shù)載流子壽命、光電導(dǎo)率和電阻率等參數(shù)。
 --2012年整合了Magnettech公司,該公司擁有25年ESR順磁產(chǎn)品經(jīng)驗(yàn);2015年又整合了EFG的X射線衍射產(chǎn)品。
 --Freiberg Instruments是一家發(fā)展迅速,充滿活力,專業(yè)又具有創(chuàng)新的的分析儀器公司,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于劑量學(xué)、醫(yī)學(xué)研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學(xué)、光伏、發(fā)光年代測定和x射線衍射等領(lǐng)域。 

?產(chǎn)品介紹

 --弗萊貝格的MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命)系列主要用于測量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等,其非接觸式檢測和無損成像(μPCD /MDP(QSS))的設(shè)計(jì)*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110。

 --這也使得該儀器在晶圓切割、爐內(nèi)監(jiān)控和材料優(yōu)化以及常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量等領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用??梢哉f,MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命)算得上是晶錠生產(chǎn)商以及晶體爐技術(shù)生產(chǎn)商d的標(biāo)準(zhǔn)儀器。

 

?特性&優(yōu)勢:

 --無接觸和無破壞的半導(dǎo)體檢測;

 --特殊“underneath the surface”壽命測量技術(shù);

 --對不可見缺陷的可視化測試具有很高靈敏度;

 --自動(dòng)設(shè)置硅錠切割標(biāo)準(zhǔn);

 --空間分辨p/n電導(dǎo)型變換檢測;

 --多項(xiàng)數(shù)據(jù)同時(shí)自動(dòng)檢測掃描,5幅測量圖形同時(shí)繪制;

 --堅(jiān)固耐用的設(shè)計(jì)和易于設(shè)置的性能。安裝,僅需要電源。

 

?應(yīng)用實(shí)例

-1.日常壽命測量,質(zhì)量控制和檢驗(yàn)

 --產(chǎn)量:>240塊/天或>720片/天
 --測量速度:對于156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠,<4分鐘
 --良品率提升:1mm切割標(biāo)準(zhǔn)為156x156x400mm標(biāo)準(zhǔn)晶錠
 --質(zhì)量控制:用于過程和材料的質(zhì)量監(jiān)控,如單晶硅或多晶硅
 --沾污檢測:起源于坩堝和生產(chǎn)設(shè)備的金屬(Fe)
 --可靠性:模塊化和堅(jiān)固耐用的工業(yè)儀器,更高可靠性,運(yùn)行時(shí)間> 99%
 --可重復(fù)性:> 99.5%
 --電阻率:可做面掃描,不需經(jīng)常校準(zhǔn)

 

-2. 精密材料研發(fā)

 --a.鐵濃度測定
 --b.陷阱濃度測定
 --c.硼氧測定
 --d.依賴于注入的測量等


 

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